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          薄膜沉積和擴散工藝
         
           
          
        金屬膜工藝
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        蒸發Ti、Pt、Au、Al、Ni、Cr
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        薄膜工藝
        熱生長SiO2
        LPCVD 生長SiN
        LPCVD 生長SiO2
        LPCVD 生長Poly Si
        PECVD 沉積SiO2
        PECVD 沉積 SiN
          
        摻雜注入
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        磷注入
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        磷擴散

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